前言：
近年來(lái)，隨著全球?qū)Ω咝?、?jié)能、環(huán)保產(chǎn)品的需求不斷增加，半導(dǎo)體陶瓷加熱器市場(chǎng)呈現(xiàn)增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。由于陶瓷加熱器應(yīng)用的薄膜沉積設(shè)備涉及到高溫，氮化鋁為陶瓷加熱器應(yīng)用主流。從產(chǎn)品類(lèi)型來(lái)看，8寸是目前氮化鋁陶瓷加熱器最主要的細(xì)分產(chǎn)品。隨著技術(shù)提高和成本降低，氮化鋁陶瓷加熱器有望逐步替代傳統(tǒng)的加熱元件。全球半導(dǎo)體陶瓷加熱器生產(chǎn)商以日本、美國(guó)和韓國(guó)企業(yè)為主，整體市場(chǎng)集中度較高；國(guó)內(nèi)市場(chǎng)也基本上由國(guó)外企業(yè)壟斷，盡管?chē)?guó)內(nèi)已有部分企業(yè)積極研發(fā)布局，但目前實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)企業(yè)仍極少，陶瓷加熱器的自主水平及國(guó)產(chǎn)化率較低，面臨“卡脖子”困境。
一、半導(dǎo)體陶瓷加熱器具有節(jié)能、高效、環(huán)保等優(yōu)勢(shì)，全球市場(chǎng)呈現(xiàn)增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)
根據(jù)觀研報(bào)告網(wǎng)發(fā)布的《中國(guó)半導(dǎo)體陶瓷加熱器行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析與投資前景研究報(bào)告（2025-2032年）》顯示，陶瓷加熱器是半導(dǎo)體薄膜沉積等設(shè)備中的重要部件，可實(shí)現(xiàn)均勻溫度分布，對(duì)晶圓均勻加熱，使襯底表面上進(jìn)行高精度的反應(yīng)并生成薄膜。
半導(dǎo)體陶瓷加熱器具有極高的能效比，能夠?qū)㈦娔芨咝У剞D(zhuǎn)換為熱能，從而降低能耗，減少能源浪費(fèi)。其次，半導(dǎo)體陶瓷加熱器在加熱過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生有害物質(zhì)，符合環(huán)保要求。此外，由于其采用陶瓷材料制成，具有極高的耐高溫性能和抗腐蝕性，因此使用壽命相對(duì)較長(zhǎng)，減少了更換和維護(hù)的頻率，降低了使用成本。
近年來(lái)，隨著全球?qū)Ω咝?、?jié)能、環(huán)保產(chǎn)品的需求不斷增加，半導(dǎo)體陶瓷加熱器市場(chǎng)呈現(xiàn)增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。2018-2022年全球半導(dǎo)體陶瓷加熱器市場(chǎng)規(guī)模CAGR達(dá)7.8%；預(yù)計(jì)2029 年全球半導(dǎo)體陶瓷加熱器市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)20.1 億美元，2022-2029 年復(fù)合增長(zhǎng)率為5.9%。
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二、氮化鋁陶瓷加熱器主導(dǎo)地位將不斷穩(wěn)固，目前8寸氮化鋁陶瓷加熱器為主要細(xì)分產(chǎn)品
按材料分類(lèi)，半導(dǎo)體陶瓷加熱器分為氧化鋁(Al2O3)、氮化鋁(AlN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷加熱器等。
其中，氮化鋁陶瓷加熱器是一種采用氮化鋁陶瓷材料制成的加熱器件，具有優(yōu)異的熱導(dǎo)性、電絕緣性和化學(xué)穩(wěn)定性。由于陶瓷加熱器應(yīng)用的薄膜沉積設(shè)備涉及到高溫，氮化鋁為陶瓷加熱器應(yīng)用主流。2021年，全球氮化鋁陶瓷加熱器占比達(dá)63.42%。從產(chǎn)品類(lèi)型來(lái)看，8寸是目前氮化鋁陶瓷加熱器最主要的細(xì)分產(chǎn)品，2023年市場(chǎng)份額達(dá)45.9%。
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隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展和市場(chǎng)需求的變化，未來(lái)可能會(huì)有更多尺寸的產(chǎn)品涌現(xiàn)，以滿足不同領(lǐng)域的需求。隨著技術(shù)的不斷提高和成本的不斷降低，氮化鋁陶瓷加熱器的性能和價(jià)格將更加優(yōu)越，有望逐步替代傳統(tǒng)的加熱元件。預(yù)計(jì)2029年全球半導(dǎo)體用氮化鋁陶瓷加熱器市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到8.9 億美元，2023-2029年復(fù)合增長(zhǎng)率為6.2%。
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三、全球半導(dǎo)體陶瓷加熱器市場(chǎng)呈寡頭壟斷格局，中國(guó)自主水平及國(guó)產(chǎn)化率較低
全球半導(dǎo)體陶瓷加熱器生產(chǎn)商以日本、美國(guó)和韓國(guó)企業(yè)為主，國(guó)外企業(yè)占據(jù)高端產(chǎn)品主要市場(chǎng)。全球范圍內(nèi)半導(dǎo)體陶瓷加熱器生產(chǎn)商主要包括住友電工、京瓷集團(tuán)、日本礙子、BACH Resistor Ceramics、Mico Ceramics 等，2022 年，全球前五大廠商占有大約91.0%的市場(chǎng)份額，整體市場(chǎng)集中度較高。
全球半導(dǎo)體陶瓷加熱器行業(yè)代表企業(yè)
| 企業(yè)名稱(chēng) | 簡(jiǎn)介 |
| 住友電工 | 住友電氣工業(yè)株式會(huì)社創(chuàng)立于1897年4月，通過(guò)將其專(zhuān)有的高性能材料技術(shù)與工藝技術(shù)（例如金屬化，連接，密封）和熱設(shè)計(jì)技術(shù)相結(jié)合，提供具有優(yōu)異熱特性的熱控制設(shè)備。這些技術(shù)應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的加熱器，實(shí)現(xiàn)了優(yōu)異的溫度均勻性和快速的加熱和冷卻特性。2021年1月，開(kāi)發(fā)出用于半導(dǎo)體制造工藝中前段制程（在硅晶圓上形成電路的工序）的高精度溫度分布控制系統(tǒng)SumiTune?，SumiTune?由分為6個(gè)區(qū)域的加熱器（SumiTune? Heater）以及能夠?qū)@6個(gè)區(qū)域進(jìn)行高效且高精度的功率控制的控制器（SumiTune? Controller）構(gòu)成。 |
| BoBoo Hitech | BoBoo Hitech是1994年3月成立的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的部件開(kāi)發(fā)/制造專(zhuān)業(yè)企業(yè)。自主開(kāi)發(fā)和供應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)所需的CVD工藝核心部件加熱器及其相關(guān)部件。 |
| CoorsTek | CoorsTek, Inc.于 1910 年在美國(guó)注冊(cè)成立，是全球領(lǐng)先的先進(jìn)陶瓷制造商，在全球擁有超過(guò) 50 家工廠，為航空航天、汽車(chē)、化學(xué)、電子、醫(yī)療、冶金、石油天然氣、半導(dǎo)體等眾多行業(yè)提供先進(jìn)陶瓷。CoorsTek開(kāi)發(fā)的Cercom® 氮化鋁加熱器確保一致的熱量分配和持久可靠的性能，支持150mm-450mm尺寸規(guī)格。 |
| SemiXicon | SemiXicon總部位于硅谷，為全球半導(dǎo)體、光子學(xué)和醫(yī)療等行業(yè)提供精密陶瓷加工和裝配解決方案，其核心技術(shù)為半導(dǎo)體晶圓處理卡盤(pán)臺(tái)，如多孔陶瓷真空卡盤(pán)臺(tái)、SSiC、SiSiC 針式卡盤(pán)和 ESC 和陶瓷加熱器。 |
| KSM Component Co., Ltd. | KSM Component成立于2004年，是專(zhuān)門(mén)制造金屬和陶瓷加熱器的公司，向客戶提供金屬焊接波紋管、磁流體密封、全氟密封圈三位一體的密封解決方案，還供應(yīng)加熱器以及各種半導(dǎo)體、平板顯示產(chǎn)業(yè)用Sub Assembly。KSMC提供最高品質(zhì)的金屬、陶瓷加熱器，用于半導(dǎo)體CVD、Etch等工藝。 |
| WONIK QnC | WONIK QnC創(chuàng)立于1983年，是一家專(zhuān)門(mén)制造和供應(yīng)生產(chǎn)半導(dǎo)體晶圓所使用的石英部件和生產(chǎn)半導(dǎo)體及顯示器所使用的陶瓷部件的復(fù)合材料零部件專(zhuān)業(yè)公司。陶瓷事業(yè)部可以生產(chǎn)多種材料(Al2O3, Y2O3, YAG, SiC, AlN, Si3N4, ZrO2, BN), 擁有功能性陶瓷零部件(ESC, Heater, Wafer Table)生產(chǎn)的全套工藝。陶瓷事業(yè)部提供半導(dǎo)體、OLED、汽車(chē)等領(lǐng)域所需的精密陶瓷零部件綜合解決方案。 |
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國(guó)內(nèi)市場(chǎng)也基本上由國(guó)外企業(yè)壟斷，盡管?chē)?guó)內(nèi)已有部分企業(yè)積極研發(fā)布局，但目前實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)企業(yè)仍極少，陶瓷加熱器的自主水平及國(guó)產(chǎn)化率較低，是“卡脖子”技術(shù)。
我國(guó)半導(dǎo)體陶瓷加熱器行業(yè)代表企業(yè)
| 企業(yè)名稱(chēng) | 簡(jiǎn)介 |
| 深圳市商德先進(jìn)陶瓷股份有限公司 | 深圳市商德先進(jìn)陶瓷股份有限公司成立于2006年，經(jīng)過(guò)多年的研發(fā)逐漸打破國(guó)外壟斷，生產(chǎn)的陶瓷吸嘴、軸承軸套、加熱臺(tái)、劈刀等產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于世界一線的半導(dǎo)體設(shè)備商和電子制造企業(yè)中。深圳商德擬在安徽巢湖經(jīng)開(kāi)區(qū)投資建設(shè)半導(dǎo)體陶瓷材料項(xiàng)目，主要建設(shè)陶瓷劈刀、多層共燒陶瓷的生產(chǎn)車(chē)間及研發(fā)中心。陶瓷加熱器（盤(pán)）主要材料是AlN，和復(fù)雜的鎢電路燒結(jié)而成，熱響應(yīng)速度快及溫度均勻，且可集成溫度傳感器，應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中，晶圓工藝設(shè)備中。 |
| 河北中瓷電子科技股份有限公司 | 河北中瓷電子科技股份有限公司成立于2009年8月6日，是專(zhuān)業(yè)從事電子陶瓷系列產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)，致力于成為世界一流的電子陶瓷產(chǎn)品供應(yīng)商。2022年中瓷電子布局精密陶瓷零部件領(lǐng)域，助力半導(dǎo)體設(shè)備零部件國(guó)產(chǎn)化。中瓷電子開(kāi)發(fā)的陶瓷加熱盤(pán)產(chǎn)品核心技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國(guó)際同類(lèi)產(chǎn)品水平并通過(guò)用戶驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵零部件的國(guó)產(chǎn)化，已批量應(yīng)用于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體關(guān)鍵設(shè)備中。 |
| 蘇州珂瑪材料科技股份有限公司 | 蘇州珂瑪材料科技股份有限公司成立于2009 年 4 月 27 日，是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備用先進(jìn)陶瓷材料零部件的頭部企業(yè)。依托領(lǐng)先的材料能力和豐富的加工制造工藝，其先進(jìn)陶瓷材料零部件的下游領(lǐng)域覆蓋較為廣闊。先進(jìn)陶瓷主要應(yīng)用于晶圓制造前道工藝設(shè)備，目前已進(jìn)入刻蝕、薄膜沉積、離子注入、光刻和氧化擴(kuò)散設(shè)備，并批量應(yīng)用于14nm和28nm制程設(shè)備和生產(chǎn)過(guò)程中。半導(dǎo)體設(shè)備用先進(jìn)陶瓷包括圓環(huán)圓筒、承重、手爪和模塊等類(lèi)型。在陶瓷加熱器方面，蘇州珂瑪通過(guò)承擔(dān)國(guó)家“02 專(zhuān)項(xiàng)”之“PECVD 設(shè)備用陶瓷加熱盤(pán)的關(guān)鍵技術(shù)與產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目課題以及多年研發(fā)，目前已探索形成陶瓷加熱器自主可控的生產(chǎn)能力，相關(guān)產(chǎn)品目前正在客戶驗(yàn)證中。 |
| 中山市思考電子科技有限公司 | 中山市思考電子科技有限公司成立于2016年，由深圳總公司擴(kuò)遷至中山，廠房面積約9000平方米。擁有14余年專(zhuān)注從事半導(dǎo)體晶圓劃片刀、陶瓷真空工作盤(pán)、CVD靜電吸盤(pán)、電木橡膠吸咀等半導(dǎo)體耗材經(jīng)驗(yàn)。2012年開(kāi)始自主研發(fā)氮化鋁加熱器、ESC靜電吸盤(pán)項(xiàng)目，2022年靜電卡盤(pán)事業(yè)部已掌握氮化鋁陶瓷高溫共燒技術(shù)，目前氮化鋁加熱器已面市，開(kāi)始批量交付客戶使用；ESC靜電吸盤(pán)已進(jìn)入裝配測(cè)試階段。思考電子自主研發(fā)氮化鋁陶瓷加熱器規(guī)格尺寸可根據(jù)客戶需要定做。 |
資料來(lái)源：觀研天下整理（zlj）
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